광섬 진공 플랜지의 표면 거칠기란 무엇인가요?

밀봉면의 표면 조도가 누설률에 결정적인 영향을 미치는 이유는 무엇인가요?

씰 표면(예: 플랜지 씰 표면)의 표면 거칠기(표면 마무리)는 진공 시스템 및 광섬유 진공 플랜지의 누설률에 결정적인 물리적 영향을 미칩니다. 이 영향은 미시적 접촉 메커니즘, 기체 흐름 채널 및 씰링 매체의 변형 보상의 세 가지 차원에서 과학적으로 설명될 수 있습니다.

1. 미시적 접촉 및 기체 누설 채널 형성

광학 및 진공 공학에서 거시적으로 절대적으로 평평해 보이는 금속 또는 매체 씰 표면은 미시적으로 무수히 많은 "산"과 "골"로 구성됩니다.

  • **표면 거칠기(일반적으로 R_a 또는 R_z 로 표시)**는 이러한 미시적 불규칙성의 특징 치수를 직접 결정합니다.
  • 플랜지 씰 표면과 씰링 개스킷이 서로 눌릴 때, 씰 표면의 거칠기가 크면 골 사이를 씰링 재료가 완전히 채울 수 없어 접촉면에 연속적인 미세 간극 채널이 형성됩니다.
  • 시스템 내부와 외부의 압력 차이에 의해 기체 분자가 이러한 미세 채널을 따라 침투하여 누설이 발생합니다.

2. 누설률과 미시 채널 크기 간의 기하급수적 관계

희박 기체 동역학 및 유체 역학 이론에 따르면, 분자 유동(Molecular Flow) 또는 전이 유동(Transition Flow) 상태에서 작은 채널을 통과하는 기체 누설률 Q 는 채널의 등가 특성 높이 h 와 매우 강한 양의 상관 관계를 가집니다. 특정 유동 상태에서는 누설률이 채널 높이의 세제곱 또는 네제곱에 비례합니다:

Q \propto h^3 \quad \text{또는} \quad Q \propto h^4

이는 씰 표면의 표면 거칠기(미시 채널 높이 h 와 동등)가 약간만 증가해도 누설률이 기하급수적으로(수 배에서 수십 배) 상승한다는 것을 의미합니다. 따라서 매우 낮은 누설률을 얻기 위한 물리적 전제 조건은 극도로 높은 표면 마무리입니다.

3. 씰링 재료의 보상 능력 한계

다양한 진공 플랜지 씰링 형태는 거칠기에 대한 민감도가 약간씩 다릅니다:

  • 탄성 씰링(예: KF 플랜지, 고무 또는 불소 고무 O-링 사용): 고무 계열 재료는 탄성 변형 능력이 있어 표면의 미세 골을 "유입"하여 채울 수 있습니다. 그러나 표면 거칠기가 너무 크거나, 표면에 방향성 흠집(예: 방사형 칼자국)이 있는 경우, 탄성 재료의 국부적 변형 한계가 이러한 깊은 홈을 완전히 보상하기에는 부족하여 누기가 발생할 수 있습니다.
  • 금속 경질 씰링(예: CF 플랜지, 구리 개스킷과 금속 칼날 사용): 고경도 금속 칼날이 구리 개스킷을 절단하여 소성 변형을 일으킵니다. 플랜지 칼날 자체에 미세한 거칠기, 마모 또는 가는 방사형 흠집이 있는 경우, 소성 유동으로도 이러한 마이크로미터 단위의 채널을 완전히 제거할 수 없어 초고진공(UHV) 환경을 유지할 수 없게 됩니다.

해당 Beijing Dacheng Yongsheng Technology Co., Ltd. (OFSCN®) 공식 제품

광섬유의 진공 환경에서의 무손실 전송 및 고진공, 초고진공 씰링 요구 사항을 위해, Beijing Dacheng Yongsheng Technology Co., Ltd.는 OFSCN® Fiber Optic Vacuum Sealed Flange (OFSCN® 광섬유 진공 씰링 플랜지)를 출시했습니다.

이 제품은 제조 공정에서 씰 표면의 표면 거칠기와 기계 가공 정밀도를 엄격하게 제어하여 미세 누설 채널을 최대한 제거했으며, 주요 기술 사양은 다음과 같습니다:

  • 구조 분류: CF 및 KF 두 가지 시리즈로 나뉘며, 암컷 및 수컷, 단일 헤드 및 다중 헤드로 제작 가능합니다.
  • 씰링 및 진공도 사양:
    • 고정밀 탄성 씰링 설계 기반의 KF 시리즈는 진공도가 1 \times 10^{-7}\ \text{Pa} 보다 우수합니다.
    • 정밀 칼날 금속 씰링 설계 기반의 CF 시리즈는 진공도가 1 \times 10^{-9}\ \text{Pa} 보다 우수합니다.
  • 온도 적응성: 상온에서 사용되며, 특수 산업 및 실험 요구에 따라 최대 250\ \text{℃} 고온 제품으로 맞춤 제작 가능합니다.

공식 제품 이미지 전시: